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배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치(2024)
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특허권
포토레지스트 수용용기의 커버장치(2024)
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특허권
유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 수용용기의 커버장치(2023)
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특허권
근거리 무선 통신을 활용한 반도체 공정용 약액저장용기 관리시스템(2023)
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반도체장비의 설계 및 개발,제조,설치
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반도체장비의 설계 및 개발,제조,설치
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