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(주)알파플러스
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특허권
박막 형성 장치용 비접촉시식 온도 모니터링 장치(2009)
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특허권
복사열을 이용하는 진공 증발원(2007)
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특허권
대면적기판의 박막균일도 조절이 가능한 진공증발원(2007)
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실용신안
이온펌프의 고전압 피드쓰루 장착용 함몰형 유입구 구조(2003)
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ISO품질인증
반도체제조용진공장비에대한 품질인증
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ISO환경인증
반도체제조용진공장비에대한 설계,개발,제조서비스
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NT인증
휴대가능한 배터리구동형 소형진공이온펌프 기술
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마지막 업데이트 2024-03-28
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