(주)에프엑스티
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2024.05.18 ~ 2024.06.17 기준
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특허권
화학기상증착에 의한 탄화규소 증착형성장치의 내부 압력조정장치(2020)
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탄화 규소 부재의 제조 장치, 탄화 규소의 부재 제조 방법, 및 포커스 링의 제조 방법(2023)
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ISO9001
CVD-SiC 제품 생산
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