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(주)세미티에스
반도체 제조용 기계 제조업
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특허권
반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위한 벨트 컨베이어 장치(2021)
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특허권
반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송 시스템에서 최적 반송 경로를 탐색(2021)
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특허권
반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송을 위하여 행거 및 지지 레일을 사용(2021)
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특허권
웨이퍼 보관 용기를 반송하기 위한 벨트 컨베이어 장치(2022)
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