2021. 11 대표이사 위순임 선임
2021. 06 대표이사 양재영 선임
2020. 12 주식회사 한국화이바 종속회사 편입
2020. 01 본점 소재지 변경 : 경기도 수원시 영통구 신원로 176 ->경기도 수원시 권선구 산업로155번길 214
2018. 03 제 52회 납세자의 날 기획재정부장관 표창 수상
2017. 09 자회사 (주)에이씨에스이와의 소규모 합병 완료
2016. 12 벤처활성화 유공포상 대통령상 수상
2016. 11 KOSDAQ 시장 상장
2016. 11 마이스터고 일류화 협력 산업통산자원부장관상 수상
2015. 11 경기도 가족친화 일하기 좋은기업(GGWP)인증
2015. 10 경기도 유망중소기업 인증
2015. 07 우수기술연구센터(ATC)지정
2014. 12 경기벤처기업인의날 중소기업청장 표창 수상
2014. 12 제9회 이달의 산업기술상 산업통상자원부장관상 수상
2014. 03 중국(상해)법인설립
2014. 01 위순임 대표이사 취임
2013. 11 중국 C/S사무소 OPEN(시안)
2013. 08 중국 C/S사무소 OPEN(쑤저우)
2013. 01 대표이사 변경 : 위순임
2012. 01 대표이사 변경 : 이종식 -> 최대규
2011. 03 대표이사 변경 : 이종식
2008. 12 세계일류상품 인증(지식경제부장관,제2008-907호)
2007. 09 부품소재전문기업 확인(산업자원부장관,제4553호)
2007. 01 300mm Asher 반도체 장비개발 (4-Stage)
2006. 07 제2사업장 신설 : 수원시 영통구 신동 503-2번지
2005. 06 디밍형 면광원 BLU 개발
2005. 04 LCD용 대용량 RF Generator 개발
2005. 04 Soft Etcher용 Plasma Source 개발
2005. 02 신기술 초세관 BLU 개발
2004. 11 300mm Asher 반도체 장비 개발 (2-Stage)
2004. 05 부품.소재전문기업 확인
2004. 01 2003년 한국 10대 신기술 선정(산업자원부장관,제2003-08호)
2002. 05 RPG (Remote Plasma Generator) 개발
2002. 03 미국법인설립(CALIFORNIA SAN JOSE, Sillicon Vally)
2001. 01 PLASMA CLEANER. dry Scrubber 개발
2000. 02 본사 이전 : 강동구 암사동 506-7
1999. 10 법인 전환 및 상호 변경 : (주)뉴파워프라즈마
1998. 06 기업부설연구소 인정(한국산업기술진흥협회,제19981270호)
1993. 12 뉴파워 창업