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2024.03.23 ~ 2024.04.22 기준
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특허권
정전척 용사 세라믹층 확대 제조장치 및 방법(2014)
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무선충전 정전척 및 이를 이용한 기판처리 시스템(2022)
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대면적 바이폴라 정전척의 제조방법 및 이에 의해 제조된 대면적 바이폴라 정전척(2016)
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특허권
세라믹 부재의 재사용을 위한 세라믹 부재의 재생방법(2019)
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ISO9001
반도체/LCD/Solar Cell 제조설비용 소모부품의 설계,개발,제조 및 정밀세정
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ISO14001
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