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특허권
반도체장비의 부산물 급속 포집장치(2006)
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스크러버를 위한 반도체 공정 폐가스의 냉각제습 장치(2017)
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펠티어 소자를 이용한 스크러버용 반도체 공정 폐가스의 냉각제습 장치(2017)
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밸브셔터 외부 결합장치(2018)
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기타 안전인증
LED DIDSPLAY_LD1448-01
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Vacuum APC Valve 성능개선 테스트(VPC-VS08L)
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